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钛泵的工作原理及常见故障发生的原因
发布日期:2020-06-09  
钛泵是真空泵的一种,但又不同于普通的压缩型泵,钛泵没有转动机构,也不使用真空泵油,它采用俘获气体分子的方式除气,从而得到清洁的高真空,这对于提高光源质量有很大的帮助。但钛泵特殊的除气原理和特殊的结构性使其与普通的真空泵操作、保养和维修都有所不同。 钛泵长时间使用之后,由于设备老化或操作不当等原因,容易发生各种故障。钛泵的工作原理就是在具有较低分子浓度的空间内,继续降低空间的分子浓度就能获得真空条件,而不存在实际的排气过程。通过加热、 电离等方法使钛原子与空间气体分子发生一系列复杂的物理和化学反应, 使气体分子伴随钛原子一起沉积下来, 从而达到降低空间气体分子浓度的目的。这就是钛泵的基本工作原理。这与压缩泵的原理有所不同。
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