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钛泵的分类及抽气原理
发布日期:2017-11-29  
早期,抽真空设备使用的是油扩散泵,近些年来开始使用钛泵,因钛金属具有很强的气体吸附能力的特性 ,广受欢迎。钛泵可以分为热钛泵和冷钛泵, 热泵是靠加热或电子轰击使钛的温度升高到1200~1500℃,不断升华并沉积于泵壁内表面, 形成新鲜的活性薄膜, 不断吸收和掩埋气体分子而达到抽气的目的, 也叫钛升华泵。冷钛泵不需要加热发射电子, 是一种表面吸附型溅射离子泵, 俗称钛泵, 其基本原理是泵内电子在正交电磁场的作用下, 沿阳极轴作螺旋运动。当气体分子与高速旋转的电子碰撞时, 气体分子产生电离, 离子在电场的作用下轰击阴极钛板, 使钛强烈溅射到阳极内表面, 管壳内表面形成新鲜钛膜, 把气体分子吸附或掩埋而达到抽气的目的。
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