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钛泵的使用条件及其优点
发布日期:2017-09-23  
为了保证沿离子束传输路程上的高真空条件,大部分气量需要由真空抽气系统抽走。由于气量较大,而且要求的工作真空度较高,所以该束线的真空系统将需要很大的抽速。目前,在中性束注入器上使用的大抽速真空泵主要有两种,一种是低温泵,一种是钛泵。 与低温泵相比,钛泵有造价低、结构简单、工作可靠、没有磁场和高速转动的机械部分、操作方便、易于维护等优点。钛吸附泵主要由钛升华器和吸附器两大部分组成,如果气体压强很低,钛蒸着率足够高,即使再增大比蒸着率,所捕获的分子数也不再增加,此时的粘着系数达到最大值并称为“本征粘着系数”。
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