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钛升华泵的主要几种结构
发布日期:2017-01-03  
钛升华泵可有三种类型,一种是单体泵,用法兰与被抽容器联接;另一种是升华器放入被抽容器中,被抽容器壁即为吸气面;第三种是与其它泵组合,作成组合泵。无论哪种类型,都必须有吸气面、升华器和控制器三部分。吸气面主要是泵体或各种壳体,控制器属于电控,升华器的种类较多,这里介绍几种升华器的结构。 1)对升华器的要求:能提供所需要的钛升华率;钛升华率易于调节,可连续或间断地供应吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去气;要有足够的工作寿命,即要有足够的储钛量。 2)电阻加热式升华器:直接通电加热钛丝。 3)热传导加热式:它是由导热性能良好的氧化铍陶瓷为芯,内串以铼钨丝制成的加热器。陶瓷芯上先绕一层钼箔,防止钛与氧化铍直接接触起反应,避免钛的加剧消耗。钛带缠绕在钼箔上,它们之间用氧化铪-甘油浆涂敷。 4)辐射加热式升华器:这种升华器从结构上将加热源和升华源分成两部分。利用放在钛球内的螺旋钨丝,由电阻加热作热源,利用辐射加热钛球,使钛不断地升华。
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