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什么是钛泵,并了解它的除气机理
发布日期:2016-12-26  
钛泵,就是在设备制造选材时,利用钛及钛合金所具有的耐腐蚀、比重小、强度高、高低温综合机械性能好的特点,在过流部件、叶轮以及填料综合密封等节点使用钛或钛合金制造。现在就来介绍下钛泵的除气机理。 1.对活性气体的抽除 对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。 2.对氢气的抽除 对氢气的抽除有化学吸附,也有扩散、吸收、溶解作用。 3.对惰性气体的抽除 对惰性气体的排除,主要靠离子“掩埋”,被电离的惰性气体的离子轰击阴极时,有以下三种情况: a、离子直接打入阴极内,或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内; b、斜射的离子切入阴极表面,离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方; c、离子没有打入板内,但是从阴极得到电子而复合为中性原子,然后又反射到阳极内表面的钛膜中。
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