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了解钛泵都有哪些优点
发布日期:2016-12-13  
为了保证沿离子束传输过程中的高真空条件,大部分气量需要有真空抽气系统抽走。由于气量较大,而且要求的工作真空度比较高,所以该束线的真空系统需要很大的臭苏,目前在使用的大抽束真空泵主要有两种:低温泵和钛泵。 和低温泵相比,钛泵的造价低、结构简单、工作可靠、没有磁场和高速转动的机械部分、操作方便、易于维护。钛泵通常由两组主泵和一组次泵组成,钛吸附泵主要由钛升华器和吸附器两大部分组成,根据实验要求,两个真空室的两组钛泵的抽速要求分别为8.0×105L/s和 1.5×105L/s。如果气体压强很低,钛蒸着率足够高,即使再增大比蒸着率,所捕获的分子数也不再增加。
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