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升华泵及其设置方式
发布日期:2015-07-22  
升华泵主要部件是由活性金属钛制作的灯丝,通过大电流加热,使钛升华后吸附在腔体的内壁上。因为钛的化学反应活性高,能抓到周围的气体分子并发生反应而生成稳定的化合物,从而达到真空的目的。升华泵长时间重重使用后,吸附在腔体内壁上的钛膜厚度会增加。这样钛膜就吸附大量的气体了,从而成为氢分子的释放源。升华泵通常和离子泵或分子泵联合使用,其排气能力取决于钛的升华速度和腔体内壁的表面积,升华泵的排气量比离子泵大,在超高真空薄膜生长装置中,通常在薄膜生长之前使用,使得薄膜生长在更高空环境下进行。
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