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钛泵内部结构的除气机理
发布日期:2015-07-08  
首先,对活性气体的抽除:比如对于氮气、氧气、一氧化碳、二氧化碳等主要是靠着沉积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸咐原理;对于氢气的抽除,主要有化学吸咐也有扩散、吸收以及溶解等作用;相对于以上所说的除气成份,隋性气体就比较复杂一些,主要是靠离子,被电离的隋性气体的离子轰击阴极时,会有三种情况发生:其一,离子被打入阴极内呀边缘的钛演积层内;其二,斜射到表面,离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围;最后一种情况就是没有打入板内,反射到阳极内表面的钛膜中。
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